Запуск признаки совместного развития партнерства - Fab Line - Краткие статьи

Ливермор, Калифорния ОСНОВЕ OEM STARTUP подписали соглашение о совместном развитии с чипов развивать атомные технологии осаждения слоя на FlexStar Torrex в параллельных платформ обработки пластин. Torrex будет поставляться FlexStar в этом квартале. Torrex описывает ее как платформу FlexStar minibatch инструмент.

Компания утверждает, FlexStar может обрабатывать от одного до 25200 мм или 300 мм пластин одновременно, без использования фиктивных пластин, в 30 минут. Виртуальный запатентованной компанией "Черный полости тела и высокой скорости Креста вафельных поставки газа Система обеспечивает ультраравномерных фильмы, Torrex сказал. FlexStar также может быть использован для низкого давления, химического осаждения из газовой эпитаксии и приложений, по данным компании.