Шаговые технологий упаковки преодолевает проблемы - Comment - пластины на уровне чипа масштаба упаковки для памяти DRAM - редакции
Тенденция к миниатюризации устройств толкнул сборки и упаковки к принятию пластины на уровне чипа масштаба упаковки (WLCSP).
С достижениями в зрелости процесса и снижения себестоимости, WLCSP вторгаться в сектор DRAM, шаг, который приведет к его принятию объемов производства основных. С повсеместный рост флип-чип и WLCSP пакеты, однако, традиционные методы литографии, таких как контакты и близость совмещения уже не достаточно для удовлетворения потребностей в технологии экономически эффективным образом. В результате, 1x технологии шагового был введен в качестве де-факто стандартом для удовлетворения flipchip и WLCSP литографии динамики созданы более крупные размеры пластин и сокращения площадку смолы.
Из-за преимуществ по урожайности и производительности изображений, полупроводниковых производителей уже давно отказались от использования связи и близости створов для фронт-приложениями. Для решения технологических потребностей и дает увеличение процесса, производители устройств в настоящее время применения традиционной литографии интерфейсного оборудования для передней кромки, внутренний литографии. Это утверждение также возросла, так как изображения требованиям пластины натыкаясь подлежат же необходимости производства, изготовления полупроводниковых переднего плана.
Использование проекционных оптики, как это предусмотрено по 1x степпер, обеспечивает превосходное качество изображения. Разрешение получено, используя контактную или близость наведения находится в прямой зависимости от разрыва между пластин и фотошаблонов. Лучшее разрешение получено, когда пластины и фотошаблона находятся в непосредственном контакте. Это приводит к ряду проблем, в отношении качества изображения и доходности. Шаговый или разрешения проекции оптики, однако, является функцией длины волны света и воздействия числовой апертуры системы, а не близости к фотошаблона пластины. Кроме того, поскольку лк шаговые подготовить проецируемого изображения, возможность сконцентрировать этот рисунок на различных глубинах в густой противостоять фильм позволяет начальника угол боковой стенке и общее качество изображения вне зависимости от сопротивления пленки в использовании. Это особенно важно в странах с развитой рынок упаковки где использование толстых пленок противостоять довольно распространенным явлением.
С другой стороны, контактная информация и близости совмещения практически не имеют возможности сосредоточиться и гораздо беднее деятельности в этих видов пленок. Контакты и близость совмещения также сталкиваются с трудностями поддержания единообразия воздействия на большие размеры пластин, поскольку они должны осветить весь пластины для каждой экспозиции. Степперы осветить гораздо меньшую площадь на каждом этапе, и поэтому они в состоянии контролировать освещение единообразия в гораздо более жесткие степени. Это приводит к повышению однородности CD и более последовательное сопротивление боковины профиля.
Использование расширенной глобальной ориентацию во время воздействия с использованием шаговых технология обеспечивает значительно лучшее согласование возможности. Потому что образ вышел на поверхности пластины, AIX шагового может компенсировать маски закончились, изотропной пластины масштабирование, вращение ошибки и ортогональности ошибки настройки экспозиции места на пластине. Контакты и близость совмещения проводить согласование на глобальном уровне с использованием двух целей выравнивания и не может компенсировать маску бежать из сетки или ошибки. Кроме того, в отличие от кварца визиров использоваться для работы с изображениями использованием шаговых технологии, обратитесь совмещения использования sodalime фотошаблонов, что еще больше ухудшает согласование деятельности.
Использование шаговых технология исключает случайный контакт пластин к фотошаблона наблюдали во время визуализации, используя контактную совмещения. Этот контакт во время визуализации при контакте совмещения сокращает срок службы фотошаблонов и вносит остаточную сопротивление на фотошаблонов, что приводит к повторению повреждений во время визуализации. Использование усиление глобального выравнивания также вносит свой вклад в значительно лучшие результаты процесса за счет уменьшения ошибки выравнивания и улучшения качества изображения разоблачения. Степперы обеспечить превосходное качество изображения и значительно лучше CD контроля, что приводит к повышению общей урожайности продукции. Кроме того, высокий уровень автоматизации технологических процессов предоставляемый шагового технология уменьшает вмешательства оператора и обеспечивает более эффективный процесс.
Manish Ranjan является старший менеджер по маркетингу продукции для упаковки приложений и Стивен Кей является директором по маркетингу продуктов для передовых технологий в Ultratech шаговым Инк в Сан-Хосе.
