Sematech говорит 157nm будет готов к 2005 году - Fab линии

МЕЖДУНАРОДНЫЙ КОНСОРЦИУМ ПРОМЫШЛЕННОСТИ Sematech сообщили из своего недавнего технического анализа данных, в Далласе, что 157nm литографии вносит значительный прогресс в производстве принятия в 2005 году. Почти 140 литографии эксперты, участвовавшие в обзоре узнал, что действие собственного двулучепреломления фтористого кальция (Ca [F.sub.2]) может быть исправлена в объектив дизайн, с использованием комбинации линз из кристаллов и, Sematech сказал. Исследования показали, отожженных кристаллах удалось встретиться характеристики однородности и стресс двулучепреломления в то время как значительные улучшения были сделаны в последние несколько месяцев на уменьшение стресса двулучепреломления в отожженных кристаллах, по мнению консорциума.

Тем не менее, основной вопрос остается в пределах дороги 157nm-технологической карты с участием мягкой pellides для фотошаблонов, Sematech сказал. Прогресс был медленным в разработке полимеров, которые сохраняют свою прозрачность в то время как при облучении на 157nm. Sematech сказал он приступил к осуществлению проекта, который состоит из нескольких университетов для изучения механизмов фотохимических потемнения, которые приведут к полимерным материалам, которые могут выдержать 157nm излучения. В то же время, участники обзора решено, что жестких пленок может быть краткосрочным решением. Прогресс, достигнутый в жестких пленок, тонких листов изменение плавленого кварца около 800 микрон, которые являются переносчиками около 95 процентов 157nm света. Экспериментальные данные, представленные на рассмотрение указанных 10 раз сокращения искажение изображения путем введения жестких пленку воздействию системы, по сравнению с предыдущими данными. Деятельности во всем мире на жестком пленок координируется через жесткие пленки Sematech Целевой группы, который будет выдавать свои окончательные рекомендации в июне. Сев RAL инструментальщиков воздействия продолжают предсказывать, что отгрузка первого 157nm сканеры произойдет до конца 2004 года. Эти машины будут включать использование как твердых и мягких pellides, ISMT сказал ..