Воздействие на проектирование фотошаблона - Comment - редакции

Здесь растут опасения по поводу воздействия фотошаблон имеет на способность полупроводниковой промышленности по разработке новых конструкций. Как промышленности сдвиги внимание от управляемых компьютером продукции на сообщение техники, стоимость литографии все чаще становится барьером.

Миниатюризация с повышенной функциональностью является краеугольным камнем промышленности IC - закон Мура. Было бы трудно представить себе 20 лет назад, что мэйнфреймы IBM, которые были бы сегодня стандарт тщательно обогнали с помощью компьютеров, которые стоят меньше $ 2000, и достаточно малы, чтобы поместиться в портфеле. Но, как мы все знаем, благодаря техническим прогрессом во всех областях, прежде всего, - микролитографии - IC промышленность сделала это.

Несколько лет назад, производству полупроводников может заплатить $ 50000 за фотошаблона или сетки набор и начать производство устройства в течение 2 недель. С помощью этой сетки установлен, он может создавать тысячи пластин. Стоимость сетки была доля себестоимости продукции и, что более важно, практически ничто по сравнению с продуктом доходов, новый дизайн может генерировать.

Но сегодня, как дизайн циклы становятся короче и визиров становятся все более сложными, стоимость визиров стала ключевым вопросом. Сетки комплект для 0,18-микронных конструкция стоит дороже, чем $ 100000. Для успешного продукта с большой рынок, полупроводниковых лица могут по-прежнему запускать тысячи пластин и амортизировать этот счет. Но для более специализированных продуктов с меньшим или короче жизненного цикла рынка и окна, стоимость всего этого становится существенным барьером.

В первые дни 5x фотошаблонов и г-шаговые линии, сетки расходы, как правило составляют не более 1 процента от общей стоимости производства ИС. Литография стала еще более эффективной, как новые технологии улучшить пропускную способность и разрешение шаговые. Как промышленности приблизился 0,25 микрон узла сетки стал не только средством передачи дизайнов, но эффективным способом улучшения оптических характеристик литографии инструментов через оптические методы повышения применительно к маски во время картина поколения, таких как оптические близости коррекция (OPC), а фазовый сдвиг маски (PSM). На данный момент, маски дизайн сложность и себестоимость производства начали крутой подъем.

При переходе к следующему поколению, с меньшими размерами функции и более сложных SOC и прикладных проектов ASIC, сетки в настоящее время стратегический компонент. На 0,15-мкм и 0,13-микронного узлов сетки наборы могут среднем по цене от $ 300000 до $ 750000 (или больше). Некоторые маски наборы уже продали более чем за $ 1 миллион. Там в конце концов, наступит момент, когда маска расходы стали запретительными, оказание целого ряда продуктов нет. Для многих компаний, производящих больше фишек для выполнения определенных функций, объемы уже снижается. Литография, которая на протяжении столь долгого времени были Enabler технологий, становится препятствием.

Сегодня, в приложениях низким пластины, стоимость литографии - в частности сетки - становится доминирующим стоимость изготовления IC. Одна из причин этого является то, что стоимость визира не легко разделяет. Semiconductor производителей разделяют многие расходы, связанные с полупроводниковой обработки в том числе инструментов, материалов и рабочей силы между несколькими линейками продуктов. Но передовые визиров не поддаются совместного несения расходов, поскольку каждый сетки набор специфичных для каждой конструкции.

Становится все более трудно добиться новых моделей на рынок с помощью традиционных методов. Вместо этого, потенциальные новые конструкции в настоящее время отказаться в пользу других альтернатив, таких, как внедрение программного обеспечения с помощью быстрого процессоров, DSP, вентильные матрицы или программируемый ASICs - все параметры, которые стремятся уменьшить или устранить необходимость в новых визиров. В конце концов, меньше конструкций может иметь катастрофические последствия для отрасли.

Было бы несправедливо винить производителей сетки для роста стоимости масок. Они по-прежнему один из самых низких прибылей в этой отрасли. Более продвинутые, плотной конструкции толкают сложности подготовки, проверки и ремонта визиров до уровня, приближающегося к обработки пластин, что резко увеличило стоимость визиров и ставит под угрозу принятие новых моделей. Чтобы облегчить или удалить барьер, что стоимость литографии представляет, промышленность должна работать вместе с дизайном сообщества по улучшению инструментов и эффективности процесса.

Литография по-прежнему является ключом к производительности. Постоянное наличие визиров для всех проектов, в том числе передовые полупроводников, дисплеев и упаковки, имеет решающее значение для здоровья отрасли.

Хорхе Фрейер является президентом микрон США.