Сколько стоит наиболее 300mm? В качестве материалов управления становится более сложной, FOUP становится первой линией обороны - Новости
Остин - AS 300mm рамп потрясающий продолжается, необходимо эффективно управлять материалами, а именно подложки большего диаметра, по-видимому, возрастает экспоненциально с числом умереть за пластины.
В том, что 2,5 увеличение числа умирают в пластине и в результате затрат и выгод, которые дает большой размер пластин привлекательным. Но это также делает обработку пластин, что гораздо важнее с точки зрения общей доходности и стоимости, которая, в свою очередь, создает принятия автоматизированной системы обработки материалов (AMHS).
В разрушении стоимость владения среднем 300mm пластины производства, стоимость рабочей силы в пластине будет только около $ 85, благодаря AMHS. Но самой кремниевой подложки будет стоить около $ 600, а также материалы, которые выходят на него, чтобы чипов будет стоить около $ 919 за пластины, по мнению консультантов Создать Уильямс и Келли. Таким образом материалы составляют почти две трети от $ 2453 общая стоимость готовой пластины.
В то же время, данная отрасль ожидает строгий контроль дефектов введен через пластины обработки, отметил Райт-Уильямс и Келли консультант Daren Dance. Танцы говорил на прошлой неделе здесь, на втором ежегодном Материалы симпозиума по управлению целостностью.
В целом ИТРС план требует совершенствования два порядка величины дефекта бюджетов в течение ближайших 15 лет. Это недостаток бюджета на пластины обработка на порядок ниже, чем в процессе инструменты, танцы отметил.
Почему строгие требования по обработке пластин? Предполагая, 100 процентов доходов по 20 тысяч пластин начинается в месяц и 410 процесс движется в вафельных и 2870 AMHS действия за лот, стоимость пластины на ход составляет 13 центов, в соответствии с Райт-Уильямс и Келли. В бюджете на 2003 год ИТРС 'от 1,34 дефектов на пластине, что стоимость увеличивается в три раза по 37 центов за пластины. Число дефектов на пластине только расти малые суммы, до кумулятивного эффекта от стоимости фейерверк, танцы объяснил.
"Материалы целостности существенно изменилась и поэтому имеет обработки материалов", отметил он. Он предположил, что чипов и их поставщики должны модель обработки пластин и AMHS систем до их построить.
"Понимание сложности позволяет нам контролировать их", сказал танцы. "FOUP (передние открытие единого стручка) является первой линией обороны", предположил он. Как стандартные пластины для перевозчика 300-мм подложек, она должна быть свободной от бродячих атомных и молекулярных частиц имеют пластин по 3000 различных движется вдоль линии потрясающий, добавил он.
Охватывая AMHS и переработки вафельных грузоотправителей
"Если вы планируете 300-миллиметровых подложек ... Вы должны сосредоточиться вперед в области автоматизации, поскольку ее распространенность в фабрики," сказал Клинт Хариса, генеральный директор литографии автоматизации Брукс-PRI автоматизации.
В том же ключе Международного исследовательского консорциума Sematech, которая базируется здесь, в настоящее время осуществляет процесс соединения меди ячейки использования AMHS, объяснил Марлин Shopbell, руководитель программы от производительности агрегата за Sematech.
Создание автоматизированной ячейке производства меди продемонстрировали более активное участие роль поставщиков материалов и материалов управления проводят на 300mm эпохи. Начало его Автоматизированная система взаиморасчетов процесс ячейки и работает требуется гораздо больше сотрудничества с поставщиками, Shopbell сказал.
Консорциум использует следующего поколения подвесным конвейером с системой поставляется Asyst СофтИнформ, а не транспортное средство основе пластины чулок и системы обработки.
Хотя автоматизированной обработки пластин рассматривается необходимым до 300мм фабрики еще до их начала, чипов начали проводить автоматизированную обработку сетки, так и для 300mm фабрик, сказал Книги-PRI's Харис. Хотя это самый дорогой материал подложки, используемые в фабриках, сетки обработка мере автоматизирован, пояснил он.
Есть два американской фабрики в настоящее время расследует автоматизированных систем фотошаблона воздушных чулок, Харис сказал. Существует возможность того, что фабрики могут использовать ту же систему чулок для пластин для визиров, хотя носителями для каждой бы по-другому.
Переключателя до 300 мм пластин может потребовать от необходимости автоматизации, но также служит для осложнить процесс автоматизации. В фабрик, которые имеют высокий сочетания продуктов, например, в литейном производстве или ASIC производителей, вафельные много сравнительно невелики, явление усугубляется появлением 300-мм подложек. Это делает координации буферов, транспорта и использования инструмента вызов.
"Это те нестандартных лотов, самым трудным для решения по автоматизации", отметил Shopbell.
Для обработки сетки, проблема заключается как раз наоборот. FAB ASIC или литейного может быть от 10 000 до 20 000 активных масок в потрясающий за один раз, по сравнению с от 300 до 1 000 масок в DRAM или других потрясающий низкий-микс, Харис сказал.
