Кто будет убирать? Вафли очистки рынка получить грязный, без явного победителя - Новости - Каталог Объявления

Вафли уборка превращается в поле битвы для одной пластины против пакетной обработки, а также за общее руководство мокрой чистой рынке.

FSI International, хорошо устоявшийся игрок в одной пластины или распылителем обработки мокрые чистые инструменты, в частности для 300mm инструментов, начало последнего залпа сегодня, когда она представила Магеллана, его вступления в автоматической мокрой скамейке или партии чистые инструменты.

В этом свитке идет по пятам "Applied Materials с Инк 'общественного запуске своего инструмента Oasis в начале прошлой недели, одного пластины мокрой чистой инструмент что он говорит, можно заменить мокрой лавке. Это первый набег в прикладной на этом рынке.

"Для того чтобы быть верхней собаки в уборке, вы должны иметь весь ассортимент продукции ..., а не нишевый игрок, и влюбиться в одну технологию," сказал Скотт Беккер, вице-президент по управлению продуктами для поверхностного кондиционирования FSI в деления.

За одним пластины против партии аргумент, движется по FSI и прикладной выделить анахроничный характер этого сегмента рынка. В отличие от большинства других областях технологического процесса, за исключением одной пластины инструменты, технологии мокрой скамейке и очистки химии существенно не изменилась за последние десятилетия.

Кроме того, до последних нескольких лет, было мало консолидация среди поставщиков. В отличие от большинства рынков, которые стали бы доминировать несколько игроков или несколько в лучшем случае, мокрой скамейке рынке по-прежнему заполнены с рядом игроков, больших и малых. Хотя Есть компании, которые ведут рынках процентном отношении Есть ни один из игроков, которые доминируют крупные куски рынка.

Это, конечно, делает этот переполненный рынок созрел для принятия, в соответствии с FSI.

"Это говорит, что это рынок кричать за лидерство", сказал Беккер. "Мы считаем, что возможности приехать в некоторых новых технологий. Мы будем бить DNS в их собственной игре", добавил он. DNS является японский инструментальщик Dainippon экрана Производство ООО, лидер в 1,04 млрд. долл. США мокрой скамейке рынке в 2001 году с 34,6 процентов доли рынка.

Лучше Мышеловка?

Хотя прикладной пытается рассмотреть недостатки автоматического мокрой скамейке и выгоду от того, что одной пластины инструменты не лучший с одной пластины инструмент Oasis, FSI принимает совершенно другую тактику. Она пытается сохранить то, что лучше всего о мокрой скамейке инструмент и улучшить ее в районах, где традиционно было проблематичным, таких, как размер, время цикла и сложный процесс управления (СВУ).

"Мы считаем, что у нас есть хороший компромисс", сказал Беккер.

В Магеллан FSI использует свои собственные регулирования химических веществ на его нашли инструменты спрей, в том числе ее запатентованной технологии и SymFlow изменения фаз смесительной батареи, а также для полоскания градиент поверхностного натяжения сухой технологии она унаследовала, когда он купил YieldUP в 1999 году. В результате мокрой скамейке инструмент, который предлагает разбавленный один проход химии и одного танка подхода, а также сокращение времени цикла и расширенный контроль процесса, сказал Беккер.

FSI сказал он снизил обычных мокрых время цикла скамье 46 минут до 26 минут с Магеллан приближается к пропускной 250 пластин в час. Он может обрабатывать все интерфейсные-линии критических очистки и травления приложений и более широкие возможности единообразия, чем предыдущие версии одного танка мокрой скамейке, сказал Беккер.

Что касается АПК, то вся партия подход решительно не поддается процессу мониторинга и комплексной или в месте метрологии. "Мы считаем, что целесообразно иметь это феноменально хорошие контроля и диагностики", сказал Беккер. Магеллан делает это путем мониторинга химических веществ, средств и рецептов, прежде чем они входят и как они покидают танк.

FSI также заявила, что снизило след Магеллан по сравнению со стандартными мокрой скамьи на целых 40 процентов за счет использования одного танка метод в сочетании с модульной подход к решению этих танков. В своей маленькой конфигурации Магеллан меры 1,8 метров на 3,9 квадратных метров.

На другом конце спектра прикладных представил одной пластины Oasis, которая выполняет горизонтальный, двойной стороне влажной обработки спина. Он использует megasonics, которые происходят под пластины и проникают через химикатов и воды в рабочей камере. Это обеспечивает мягкий чище, чем более характерно megasonic приложений, которые используют сопла или палец выше пластины, в соответствии с прикладной.