Nanometrics берет на дефект инспекции рынка - Новости Flash - NanoSpec 9300 от Nanometrics - Краткие статьи - Каталог объявлений

МЕТРОЛОГИЯ ПОСТАВЩИК NANOMETRICS вкл. входит в рынок дефекта инспекции, открытие его Nano Всеобщей дефектов инспекции (NanoUDI) технологии для обработки пластин 300mm сегодня. Первая в серии NanoUDI, 9300, особенности края захвата пластины для обработки система, которая позволяет инспекцию как спереди, так и задняя пластины без пластины контактной поверхности, Nanometrics сказал.

9300 использует сочетание высокой эффективности освещения для инспекции, с высоким разрешением оптика для макро-дефектоскопии и обработки изображений обнаружить дефекты и частиц. Ее технология обработки изображений, в сочетании с системой обработки пластин, обеспечивает полную пропускную способность инспекции пластины свыше 180 пластин в час, 100 процентов охвата поверхности пластины с нулевым края изоляции, Nanometrics утверждал. Как и другие предложения Nanometrics 'метрологии, NanoUDI предназначен для процесса интеграции инструмента.

NanoUDI 9300 метрологии система может быть использована практически в каждом этапе процесса производства пластин, в том числе грубой полировки, CMP, отводками, фотолитографии, допинг, и умереть сортировки и расфасовки, в зависимости от компании.