АНМ оценки американских патента для PECVD низким А процесс - Fab Line - Краткие статьи

ASM International Н. НЕДАВНО GARered патентов США Nos. 6352945, 6383955 и 6410463 охватывает передовые низкой диэлектрической к плазмохимическим химического осаждения паров (PECVD) пленок технологии, используемые в бэкэнд-линии соединения структур. Патенты покрытия АНМ углеродные, легированные оксидом Аврора фильмов и технологии изготовления используя свои Игл серии PECVD инструментов.

Аврора пленках, осажденных из органических прекурсоров кремния с кислородом прикреплены непосредственно к кремния, что дает им термической стабильностью и механической прочностью, в соответствии с ASM.