TEL цели следующей Чистота Трек Закон инструмент в начале 2004 года - Fab Line - Краткие статьи

Tokyo Electron LTD. (TEL) заявил, что планирует релиз новой версии своего 300mm противостоять Coater / разработчик в январе 2004 года. В настоящее время в стадии разработки, то инструмент будет основываться на успехе Чистота TEL Трек 12 Закона инструмент нового поколения 300mm процесс нанесения покрытия / разработчик ориентации 300mm рынке пластины.