NuTool добавляет СС традиционные технологии стабильным - Fab Line - NUTOOL вкл. судов LUMINACU RL-СС химико-механического инструмента планаризация - Краткие статьи - Каталог объявлений

NUTOOL вкл. 'S LUMINACU RL-СС, 300-мм химико-механического планаризация (CMP) инструмент, сочетает в себе высокую линейную скорость компонент, обеспечивающий высокий уровень полировки с низко-силовой составляющей благоприятных dishing и эрозии, производительность в диапазоне от 200 Angtroms или меньше почти без глобальных потерь азота, утверждает компания.

последним средством запуска является для полировки меди и металлов барьера в том же месте полировки. Отметила его электрохимического осаждения механических (ECMD), которая planarizes меди, как это хранение, NuTool начала LuminaCu после пожелания клиента по его планаризация технологий в автономном компьютере. ECMD могут быть добавлены в платформу LuminaCu, однако. LuminaCu системы обеспечивает до 60 пластин в час в течение типичного применения меди СС, а LuminaCu ECMD может производить до 90 пластин в час, NuTool сказал.