Прикладная предлагает фиксированные абразивные технологии СС, устраняет dishing - Fab Line - химико-механического планаризация; Рефлексия Applied Materials 'фиксированной Абразивный Web - Краткие статьи - Каталог объявлений

Applied Materials представила вкл. ИСПРАВЛЕНО АБРАЗИВНЫЕ химико-механического планаризация (CMP) инструмент с навозной жижи менее процесс формирования мелкой траншеи изоляции путем (ИППП) структур в суб-100 нм устройств. Вместо использования панели полировки и навозной жижи на planarize пластины, Рефлексия фиксированной Абразивный веб-технологий работают рулон ткани типа материалов, которые содержат абразивные полировки.

Интеграция абразива в ткани исключает dishing или удаления материала из областей на пластине, вызванную свободной абразивных частиц, прикладной претензий. Эрозия решается использованием нитрид избирательным химии, который ограничивает полировка раз нитрида подвергается, по данным компании. Технология продолжался до 65-нм узел, Прикладная сказал. Она имеет несколько фиксированных Рефлексия Абразивный веб системы квалифицированных и производства на фабриках в Соединенных Штатах, Европе и Азии.