Акрос Akrion в функции концентрации химического контроля обратной связи - Fab Line - мокрой скамейке инструмент для управления процессом - Краткие статьи - Каталог объявлений

ПОСЛЕДНИЕ мокрой поверхности пластины инструмент PREP Tool Company AKRION скамьи, Акрос, особенности запатентованную концентрация химического системы обратной связи для большего контроля процесса, по данным компании. Предназначен для суб-100 нм процессов, Акрос может обрабатывать все передний конец линии очистки и предварительной подготовки эпитаксиального осаждения, Akrion сказал.

химических Акрос "концентрации обратной связи система может повысить коэффициент удаления частиц и травления единообразия, позволяя пользователям управлять химической отношение каждого конкретного рецепта процесса, что позволяет им извлекать дополнительные улучшения в производительности, утверждает компания. Акрос имеет след 6,35 квадратных метров, а среднее время между отказами около 2000 часов.