Canon выкатывает 248 нм, 193 нм Степперы на новую платформу - Fab Line - Canon FPA6000ES5 и-ES4 пластины сканеры - Краткие статьи - Каталог объявлений

Компания Canon Inc представила 248 нм КРИПТОН фтора и 193 нм аргонового фтора сканеров на новые 300mm FPA-6000 одноступенчатой платформы, изначально предназначенный для поддержки его 157am фтор-инструментарий. 248 нм Canon FPA-6000ES5 оснащен 0,80 числовой апертурой (NA), ультра-низким аберрации 4:01 сокращения системы линз и может особенностей проекта, как малые 1 lOnm.

193 нм модели FPA-6000AS4 сканер имеет 0,85-NA, 4:1 сокращения оптическая система, которая включает фторида кальция материалов наряду с собственной волнового фронта технологического оборудования Canon, направленных на достижение ультра-низким аберраций и может проецировать детали размером до 85nm, компания сказал. 6000 платформа предлагает одноступенчатая конструкция с синхронным пластины сканирования скорость 500mm в секунду, 140 процентов быстрее, скорость сканирования, чем предыдущие поколения платформы этапе Canon, Canon сказал.