Nikon начинает последние 248 сканер, проверка разделения и наложения инструмент - Fab Line - Nikon NSR-s206D и Nikon Н.З.М.-3000 - Краткие статьи - Каталог объявлений

NIKON Корпорация приступила к NSR-s206D, его шестого поколения, 248 нм, криптон фтора сканер, который оснащен низкой аберрации линзы проекции с числовой апертурой 0,82 и может добиться разрешения 110nm или, скорее, в зависимости от Nikon. Компания утверждает, что снизило искажения NSR-S206D до 12 м или менее. С помощью 4kHz, 30W лазер, пропускная способность была улучшена, по крайней мере 147 пластин в час в течение 200mm вафли и 88 для 300-мм подложек.

Nikon Кроме того, недавно был открыт новый отдел инспекции полупроводников, Semiconductor Inspection Technologies группы, и выкатили его первым инструментом в Соединенных Штатах, автоматическая система измерения наложения. Н.З.М.-3000 обладает высокой точностью, посвященный оптической системы, в том числе Nikon объектив, разработанный специально для наложения измерения. Он также обладает высокой точностью, активно затухающие стадии и новая расстановка EGA технологии контроля, что позволяет расширять систему с пропускной способностью 150 пластин в час, в зависимости от Nikon. Варианты Н.З.М.-3000 включают в себя системы управления шаговым, Фокус Марк измерительная система, рецепт управленческих функций и произвольным углом измерения.