TEL, Ebara, Dainippon продолжать maskless лито электронным пучком - Новости Flash

Tokyo Electron LTD. (TEL), Ebara корпорации и Dainippon экрана Mfg. ООО (DNS) на прошлой неделе приступил к совместное предприятие для разработки, производства и сбыта прямой записи электронным лучом (электронно-лучевая) литографии системы.

Semiconductor капитала поставщик оборудования TEL планирует иметь инструмент, основанный на технологии, разработанной компанией Toshiba микросхем корпорации готовы к полномасштабной отгрузки к 2005 году, ко времени проведения 65-нм технологии узел. TEL и Ebara будет каждый собственный 40 процентов акций совместного предприятия, условно названных E-Beam корпорации, а DNS маску поставщик будет принадлежать 20 процентов акций.

Одной из главных особенностей maskless инструмент литографии, что она будет использовать как низкоэнергетических электронно-лучевая метод и метод проекции характер, в котором используется схема блока как один символ или установленного образца, чтобы написать, что картина несколько раз, сказал компаний.

Это вопрос пропускной способности, что вызвало европейских и американских чипов и литографии QEMs в основном отказаться от электронно-лучевая технология, прямая запись или иным образом. 2 крупных японских основе литографии поставщиков, Nikon и Canon Инк Инк, однако, до сих пор электронным пучком программы, в рамках, которые предназначены для приложений следующего поколения литографии, даже если они преследуют расширенной ультрафиолетовой литографии (EUVL).

Эти аспекты Предлагаемая система позволит улучшить позволяет значительно сократить производство и время на подготовку, в зависимости от компании.