Прикладная посвящает RTP с Vantage: 300mm RTP предлагают все меньше и быстрее, чем инструмент Сенчера - Капитал оборудование - Applied Materials Inc

300mm рынка может не взорваться во второй половине 2002 года, как многие надеялись, но рынок все еще растет, и это не удивительно, что Applied Materials Инк продолжает двигаться чтобы захватить долю на рынке.

На прошлой неделе прикладной представила две камеры быстрой термической обработки (RTP) инструмент для 300mm приложений, называемых инструмент Сияние Vantage. Что значительного об этом инструменте, не технологии, которые применяются была в этой области в различных формах в течение нескольких лет, но время и то, что Vantage не является инструментом кластер, но специализированных инструментов RTP.

В отличие от предыдущих прикладной Сияние RTP инструменты - модули построены вокруг своей Сенчера платформы инструмент кластер - Vantage просто два RTP камеры напрямую связано с интерфейсом завода и отслеживать робота. В результате намного меньше и проще, высокой пропускной способностью инструмента след 51 квадратных метров. Прикладная сказал он сжал пропускная способность свыше 100 пластин в час с инструментом.

Прикладная была Сияние RTP модулей в области с 1997 года. "Мы используем те модули, которые уже там, в нашем сегодня базы, поэтому существует очень мало новых технологий внедряется", сказал Бен Бирман, генеральный директор тепловых систем и прикладных модулей подразделение, часть его группы транзисторов систем.

Что касается сроков, второго и третьего эшелона чипов может положить холод на 300mm расширение, но его ранней стадии, должны идти вперед. Прикладная со ссылкой на данные Gartner Dataquest, ожидает 300mm возрастет с 36 процентов всего оборудования, потрясающий пластины расходы в этом году до 45 процентов в 2003 году.

Расходы на 300mm инструменты придет на $ 6,3 млрд в этом году, по сравнению с 5,5 млрд. долл. США в 2001 году и превысит 9,9 млрд. долл. США в 2003 году, в соответствии с прикладной и Dataquest. Компания не планирует ввести специальный 200mm RTP инструмент, предпочитая придерживаться Сенчера, и не видит спроса на мост инструменты, сказал Бирман.

"В 200mm у нас есть платформа Сенчера это пожилые и действительно отвечает всем запросам наших клиентов," сказал он, добавив, что доля 200mm бизнес RTP, скорее всего, начинают уменьшаться с течением времени.

По данным VLSI Research Инк, в 2001 году общий объем рынка RTP, где доминирует Прикладная с 84 процентов рынка, добавил до $ 348 млн и более чем вдвое до $ 843 млн к 2004 году. Шестьдесят пять процентов от 2004 RTP рынок будет состоять из 300mm инструмент продаж. Прикладная уже получила заказы на Сияние Vantage из Японии, Кореи и Соединенных Штатов, сообщает компания.

"Я думаю, прикладной фактически пытается выиграть стоимости владения битве и на самом деле придумал, с точки зрения RTP, инструмент, который ... может ударить сухой отжига рынка", сказал Дин Фриман, старший аналитик Dataquest.

Feel It горячий, горячий, горячий

"Это гораздо меньше, чем наша Сенчера систем, основанных на RTP и гораздо проще", сказал Бирман. Это делает его идеальным для обработки таких мер, как отжигов ионов имплантата. "По этим отжига шаги ... там на самом деле никакой выгоды наличие этих других камерах или передачи в вакууме", сказал он.

Vantage имеет около половины столько частей, аналогичной конфигурации Сенчера, в отличие от системы Сенчера RTP, могут быть отправлены в один кусок, что делает для облегчения установки. Тем не менее Vantage сохраняет сияние в технических возможностей, в зависимости от прикладной. Это включает в себя с высокой частотой дискретизации, измерения температуры 100 раз в секунду, в 7 разных местах пластины от центра к краю, а наращивает температуры в 250 градусов в секунду, а охлаждение на 90 указов по Цельсию в секунду. Сияние камеры имеет диапазон температур от 300 до 1200 градусов по Цельсию и может достичь уровня кислорода менее 1 части на миллион.

Камеры Сияние это раскладушка для имплантата ионов или всплеск отжига через 65-нм узел и прикладной изучает различные типы камеры для этого типа отжига с целью возможного внедрения на 45-нм узла, сказал Бирман. Для других приложений, за исключением вольфрама обработки salicide, это сияние продолжался до 45-нм узел, сказал он.