Varian сетей с технологией патентной Однолучевой - Fab Line - Varian Semiconductor оборудование Associates Inc - Краткие статьи

VARIAN полупроводникового оборудования Associates, Inc получил США патент № 6403972 под названием "Методы и аппаратура для выравнивания ионного пучка систем с помощью пучка датчики". Эта технология использует тока пучка датчики по всей beamline для выравнивания и precalibration пучка оптики, в соответствии с Varian.

Это сводит к минимуму пучка оптимизации времени, которое в свою очередь, повышает пропускную способность, утверждает компания. Тока пучка датчики используются в одной пластины в Varian VIISta 810 и HP 810 VIISta среднего тока implanters иона.