ASML Ввод ALD на быстрый путь - капитальное оборудование
ASML, не теряя времени в развертывании ее молекулярного наслаивания (ALD) инструмент.
Veldhoven, базирующийся в Нидерландах, создатель инструмента было объявлено в апреле, что лицензирование технологии из существующих корейский поставщик комплексных ALD Process Systems (IPS) и запуск платформы ALD из ее тепловой узел обработки в следующем году, с демонстрацией возможностей этого лета.
"Мы, чего достигли и те цели, на самом деле с опережением графика", сказал Джефф Ковальский, президент ASML "Термал".
Традиционно литографии поставщик, ASML добавил трек и термической обработки, когда она приобрела США лито конкурента Силиконовой долине группы (SVG). Развитие ALD инструмент ASML является проходит на бывшем объекте SVG в Scotts Valley, Калифорния
ASML в настоящее время 3 модулей в эксплуатацию в Scotts Valley, с другой 1 планируется установка в течение ближайших двух до четырех недель, сказал Ковальский. Осуществлена поставка первой инструмент ALD за пределами компании несколько недель назад европейские фабрики, и другие поставки инструмента запланировано.
Хотя многие считают, ALD технологий имеет решающее значение для будущего высокого к воротам диэлектрические пленки, током ударило ALD происходит от применения конденсаторов DRAM, Ковальский сказал. Необходимо для успешного осуществления траншеи Формирование конденсатор - с высокими коэффициентами аспект - в противоположность к набору конденсаторов становится острой, как устройство имеет усадки.
Samsung Electronics Ко ЛТД, например, было объявлено в июне, что она успешно разработала приложение ALD конденсатор оксидной пленки диоксида гафния алюминия. Фильм имеет большую емкость, чем оксида тантала, а также уменьшает число шагов процесса, участвующих в конденсатор образования, в соответствии с Samsung.
Но диэлектрика затвора транзистора приложения тяжелых центре R
"Мне сообщили, что два или три ИСПР, что Существуют более программ сегодня в материалы ... Есть чем в литографии", сказал Ковальский. "Люди в панике. ... Я думаю, что вы увидите намного больше программ как в рамках компании IC и консорциумы".
