Численное технологий и Шипли партнером противостоять оптимизации фазосдвигающих - Fab Line - Краткие статьи

Численное ТЕХНОЛОГИИ И вкл. Шипли Ко ООО "ведут совместную работу по улучшению производительности сопротивляться с чередующимися диафрагмы фазовый сдвиг маски на 248 нм литографии 7 оборудования для функции с размерами менее 100 нм. Это будет способствовать дальнейшему развитию процессов для продвинутых SOC, память и логические устройства, по данным компании.

Шипли сказал партнерства имеет важное значение для расширения глубокой ультрафиолетовой литографии пределами обычных границ и встреча промышленности дорожную карту для 90-нм технологии с использованием комбинации передовых технологий, фотошаблонов и противостоять оптимизации.