Samsung, Шипли Приведение ArF Не поддавайтесь на рынок

Компания Samsung Electronics Co LTD. И Шипли Корпорация, дочерняя компания "Ром энд Хаас Ко, Филадельфия, недавно утверждал, что разработала коммерчески жизнеспособных фоторезиста для аргона фтора (АРФ) литографии. Samsung и Шипли сказал, что они рассчитывают на их рынок с дебютным ArF сопротивление в 2002 году.

Компаний заявили новые сопротивляться, способные работать до 0,07-микронный уровень. Samsung, базирующаяся в Сеуле, Южная Корея, заявил, что может объединить свои последние прорыв с высокой разрешающей способностью фотолитографии для изготовления памяти DRAM до 64Gbits. Samsung подала заявку на патенты, связанные с новой технологией в девяти странах, в том числе Соединенных Штатов, Японии и на Тайване. Компания подписала соглашение о передаче этой технологии в Шипли. Samsung и Шипли признакам их новые сопротивления в полупроводниках Кореи, полупроводникового оборудования и материалов выставки Интернационала, который состоялся недавно.