TEL приобретает Тембр технологии

Tokyo Electron LTD. (TEL) приобретает частная Тембр технологий инк Fremont, Калифорния Финансовые подробности сделки не разглашаются. По данным базирующихся в Токио TEL, Тембр Technologies 'измерения программного обеспечения технология имеет важное значение для производства моделей полупроводниковых чипов на суб-100 нм уровне.

Приобретение позволит TEL включить процесс контроля и управления доходами технологий, необходимых для рынков будущего в его следующего поколения оборудования для обработки пластин, сообщает компания. Тембр разработала программное обеспечение подход давать критический размер поперечного сечения профиля и толщины пленки в одном измерении. Его Оптический цифровой профиль (ОРС), технология позволяет точную модель устройства сечения, которые будут созданы с высокой повторяемостью в считанные секунды, сообщает компания. Тембр считает, что в дополнение к обычной технологии измерения SEM, тонны станет необходимой измерительной техники при обработке к югу от l30nm.