Вернуться движется - Антенна - Surfscan испытательного устройства ОАК в Tencor - Краткие статьи

Мы слышим ОАК Tencor пользуется значительным успехом на рынке глядя на обратной стороне пластины. В феврале прошлого года метрологии гигант принял рассекречивать модуля спинках инспекции (БСИМ) для Surfscan 300mm дефектоскопа дефекта. Частица дефектов на обратной стороне пластины стали больше проблем, как в последнее время, что с меньшими геометрии, новых материалов, новых технологических процессов, таких как химическая и механическая планаризация больших размеров пластины.

Интерес инструмент был высоким, он был один из самых быстрых продуктов усыновления в истории компании, по словам Михаила Кирк, вице-президент и генеральный менеджер подразделения Surfscan разделения KT в. Менее чем за год компания разместила БСИМ / Surfscan во всех, кроме двух существующих 300mm фабрик, а также модуль нашел свой путь в около 30 различных 200mm фабрик. С учетом климата в прошлом году, это особенно впечатляющие темпы принятия.