Карл Суссе Intros Автоматизированная Single-вафельных Старт Oft Инструмент
KARL SUSS ввела в эксплуатацию новую автоматизированную одной пластины старт инструмента, позволяющего высшего управления процессом по сравнению с существующими методами. Мюнхен, Германия основе компании заявил, что новый старт системы был разработан для арсенида галлия, оптоэлектроники и телекоммуникационного рынков. Программа удаляет осаждаемого металла пленок с помощью одной пластины процесс секвенирования.
Single-обработки пластин позволяет металла переотложения обратно на пластины устранения ошибок в партии процессов устройства производства. Single-пластины dry-in/dry-out процессов улучшить процесс управления и настройки для размещения различных металлов и противостоять фильм трубы. Эта технология особенно подходит для производства высокочастотных устройств, компания говорит. Металла старт система, получившая название M6000L, могут быть использованы для создания 3D-соединений металлов окружении воздуха, известный как воздушные мосты, которые используют присущие низкого значения Ъ воздуха по сравнению с другими диэлектрических материалов.