ОАК Tencor Инструменты ШПИОНАМ Литография

В преддверии конференции SPIE Микролитография в Санта-Клара, Калифорния, на этой неделе, Сан-Хосе, основанные ОАК Tencor Корпорация представила свою последнюю литографии наложения метрологии инструмент, Арчер 10, и 2 пакетов программ, направленных на работу с критического размера сканирования электронного микроскопа (SEM CD) инструменты.

Компания (NASDAQ: Клак) говорит Арчер 10 функций согласованности зонда метрологии, который принимает 3D измерений наложения объектов. ОАК Tencor также выпустила Prolith 7,0, его передовая субволновое литографии продукта разработки программного обеспечения. второй новый продукт компании, автоматическая настройка модуля для его Klarity ProData 1,2 анализ программного обеспечения, автоматическую калибровку параметров Prolith в литографии моделирования обеспечить лучшее совпадение между результатами моделирования и фактических CD SEM измерений. Klarity ProData с самоподнастройки и Prolith 7,0 Ожидается, что судно в объеме в первой половине этого года.