Дает право АНМ Ebara насосы для эпитаксии Инструменты

Билтховен, Нидерланды основе АНМ International NV вспомогательных АНМ Америка инк работают квалифицированные Ebara СофтИнформ, американский филиал японской компании Ebara корпорации, в качестве поставщика вакуумных насосов серии АНМ EpsilonTM инструментов одной пластины эпитаксиальных. насосы Ebara Technologies 'уменьшить давление атмосферы, необходимой для прогрессивных технологических процессов эпитаксии кремния, по данным компании (NASDAQ: AMSI).

АНМ сотрудничал с Ebara, чтобы определить требования к сухой вакуумный насос, который может поддерживать высокие требования эпитаксиального осаждения при пониженном давлении в рабочей среде, ASM сказал. Ebara насосы в настоящее время получили все Эпсилон эпитаксиальных реакторах, в том числе новых 300mm E3000TM.