В ОАК выпускает Situ инструмент Фильм-Толщина для меди СС

ОАК Tencor Корпорация представила Precice, производства достойным на месте фильм толщины и конечной точки системы контроля за использованием меди химико-механического планаризация (CMP). Precice может автоматически компенсировать входящие вариации на основе пластины к пластине и снизить риск ошибки процесса создали неравномерным полировка, Сан-Хосе, основанные ОАК Tencor (NASDAQ: Клак) сказал.

"Precice включает в себя несколько уникальных возможностей, чтобы обеспечить в реальном масштабе времени, точные измерения толщины фильм в СС и позволяет инструменту СС динамически настраивать для кино изменения для обеспечения надлежащего контроля за процессом СС во все времена", сказал Пит Нунан, KLA-Tencor вице-президент по разработке технологий, в своем заявлении. "Precice достаточно чувствителен, чтобы обеспечить в реальном масштабе времени измерения по широкому кругу узорчатого пластин без калибровки".

Система Precice использует комбинацию оптических и вихретокового технологии, что позволяет клиентам запускать несколько шагов в рамках процесса СС с высокой степенью повторяемости, по данным компании. вихретокового датчика Precice обеспечивает точные измерения толщины в режиме реального времени и автоматически компенсирует температуру и площадки одежды эффекты, которые возникают во время СС, KLA-Tencor сказал. Оптическая система использует Precice одной длины волны, под разными углами рефлектометра.