Интегрируется данными в компании Axcelis Декаборан Технология в ионно-имплантат системы

Данными в компании Axcelis ТЕХНОЛОГИИ инк Беверли, штат Массачусетс, сказал он объединил свои запатентованные декаборан источник-технологии на обычные системы ионной имплантации и успешно имплантированы устройства пластин. Декаборан, молекула, которая содержит 10 атомов бора, обеспечивает эквивалент десятикратное увеличение тока пучка на 1-десятых энергии, данными в компании Axcelis (NASDAQ: АСНС) сказал.

Из-за этих результатов, данными в компании Axcelis сказал его декаборан технология обеспечивает реальный путь для дальнейшего расширения ионной имплантации технологии, возможно, по мере 0,07 микрон узла. Устройство пластины были подготовлены в сотрудничестве с Agere Systems, Inc в Аллентаун, Пенсильвания, ранее микроэлектроники группы Lucent Technologies Инк данных производительности устройств показали аналогичные характеристики производительности обычных имплантатов низких энергий, данными в компании Axcelis сказал.