Motorola продолжает SiGe: C Работа с АНМ Инструменты

Компания Motorola Inc 'S полупроводниковых продуктов Сектор выбрали АНМ инструменты Эпсилон E2000, как кремний-германий-углерод (SiGe: C) осаждения эпитаксии оборудование для следующего поколения технологий РФ BiCMOS, ASM Америки сказал на прошлой неделе. АНМ Америке является дочерней Билтховен, базирующийся в Нидерландах, АНМ International NV

(NASDAQ: ASMI). Motorola (NYSE: MOT) и немецкой исследовательской компании сделали ранней разработки для SiGe: C эпитаксиального процесса на реакторе АНМ Эпсилон. первого поколения, Motorola в РФ BiCMOS технологии 0,35 микрон процесса SiGe: C и комплексного РФ пассивных модулей. Технология недавно завершил квалификацию и в настоящее время используется несколько стандартных и нестандартных конструкций, ASM сказал. Motorola в настоящее время установки реактора Эпсилон E2000 на ее MOS12 объекта в Чандлер, штат Аризона