IBM присоединяется EUV консорциума, по-прежнему поддерживает EPL

Корпорация IBM стала шестой крупной компании, чтобы присоединиться к Extreme Ultra Violet (EUV) ООО, промышленный консорциум, ответственной за разработку нового поколения литографии EUV технологии, но сказал, что по-прежнему поддерживает электронной литографии проекции (EPL) усилий. IBM микроэлектроники Ист Фишкилл, штат Нью-Йорк основе разделения IBM (NYSE: IBM), будет работать с консорциумом в разработке EUV литографии технологии позволяют производителям полупроводниковых Etch схемы линий меньше, чем 0,1 микрона.

Санта-Клара, Калифорния консорциума сказал он считает, что процессоры, изготовленные с использованием технологии EUV сможет достичь скорости до 10 ГГц к 2005 или 2006 году. Корпорация IBM также поддерживает Nikon Корпорация 'ы усилия EPL развития. В Токио Nikon заявил, что планирует начать поставки EPL инструментов, которые компания сказал позволит производства в узле 0,07 микрон, в 2004 году. EUV ООО в настоящее время работает в Силиконовой Долине группы литографии и ASML для коммерциализации технологии EUV и сказал, что планирует ввести производство инструментов в 2005 году.