NuTool принял технологии патентной
NuTool Инк на прошлой неделе заявил, что офис в США патент, выданный ему патент на его электрохимического осаждения механических (ECMD), которая NuTool сказал могут депонировать и planarize меди в один шаг.
Милпитас, Калифорния технологию, основанную на запуск публично представила свою технологию ECMD декабре прошлого года в Японии полупроводников, сказав, что это было в бета-тестирование на нескольких крупных производителей устройств. Компании, в настоящее время частная, но с финансированием из нескольких крупных компаний-производителей полупроводников, сказал, что надеется, что ее бета-тестирование должно быть завершено к второй или третий календарный квартал этого года.
"Мы очень рады наш патент, так как он устанавливает NuTool как выдающийся поставщиком технологий ECMD. Напылением и выравнивания поверхности меди эффективно в рамках одного процесса, мы снижаем необходимость химико-механического планаризация (CMP) более чем на 50 процентов", сказал Хомаюн Talieh, NuTool основатель и главный исполнительный директор, в своем заявлении. Talieh является бывший высокопоставленный менеджер "Applied Materials инк
По NuTool, его фирменная технология решает проблемы, которые происходят с осаждения меди, таких как перегрузки - создание меди более мелкими чертами лица, - и меры, которые происходят на больших возможностей. Технология сокращает время и, возможно, польский dishing и эрозии, заявила компания.
Как NuTool в машине месторождений слоем меди, панель находится в непосредственном контакте с пластин, а это, в сочетании с процессом химии NuTool в, позволяет дифференциальных меди роста тарифов меди на поверхности пластин и медь на хранение в функцию, в соответствии с NuTool. Скорость, давление и механические путь площадки могут быть контролируется с помощью программного обеспечения. Типичное применение занимает около 3 минут на пластины, утверждает компания.
вновь выданного патента NuTool может заставить его конкурентов принять к сведению. "Это происходит, чтобы сделать жизнь интересной в настоящее время", предложил Дин Фримен, главный аналитик Gartner Dataquest в Сан-Хосе. "Эта технология должна уменьшить количество dishing и эрозии, что происходит, в теории," добавил он.
Хотя потенциальные конкуренты компании в осаждения и СС скептически относятся к ECMD, NuTool привлекло интерес, по крайней мере, один большой инструментальный завод, ООО Tokyo Electron (TEL).
Незадолго до полупроводников Японии, в Токио TEL объявил, что будет обращение продаж и технической поддержки для NuTool и Тецуро Хигаси, ее президент и исполнительный директор, сказал ECMD обладает потенциалом для изменения на рынке меди осаждения инструментов.
"Для того чтобы проникнуть в этот рынок, мы должны уникальной технологии" Хигаси сказал в интервью после полупроводников Японии. "Мы считаем, что система NuTool очень важно и будет способствовать много на рынке," сказал он.
Brian Stickney, продажи NuTool и директор по маркетингу, говорит, что в течение нескольких месяцев после полупроводников Японии, запуск в связи с TEL продолжает развиваться как компании получили узнать друг друга лучше, и что потенциальные клиенты стали более восприимчивы.
Получение патента на свою технологию ECMD должен помочь завоевать клиентов, а также, Стикни добавил. Многие обеспокоены тем, что технологии NuTool было лицензии от третьего лица, Стикни сказал, что сделал потенциальных клиентов застенчивый. Получение патента избежать этой проблемы, полагает он.
