TSMC погружения для коралловых Novellus, пользуется сиквелы

Taiwan Semiconductor Manufacturing Ко (TSMC) с выбранным диффузии Novellus Systems, Inc "барьера / Etch остановки фильмов, часть ее коралловым семьи с низким А фильмы, в свою 0,13-микронного меди воронить производственных процессов. TSMC (NYSE: TSM) продолжает работать с Novellus (NASDAQ: NVLS), чтобы расширить низкой к компании фильмов для использования в 0,10 микрон устройства производства, Сан-Хосе, основанные осаждения инструментальщик сказал.

TSMC будет размещать фильмы использованием Продолжение Novellus "Экспресс химического осаждения паров систему, которая включает множественного Novellus 'последовательного осаждения архитектуры. Продолжение инструмент Express можно также зачислять на счет разные диэлектрических пленок в одной камере процесса, в соответствии с Novellus.