TEL Лицензии 300mm FOUP Брукс Automation "

Автоматизации Брукс объявила, что ООО Tokyo Electron (TEL) имеет лицензию ключевые элементы своей запатентованной 300mm перед открытие единого пакетике (FOUP) Нагрузка Портовое оборудование для использования во всех будущих 300mm компании поставки инструмента. Брукс (NASDAQ: Бркс) говорит, что считает, что инструменты, которые будут разработаны для 30 мм заводов потребует 300mm FOUP нагрузки портов - это технология, придуманная Брукс.

TEL сказала она будет использовать FOUP Брукс 'Load Порт технологии для создания 300mm обработки средства, которые помогут стандартам, установленным полупроводникового оборудования и материалов International. Брукс-первых представила свои передовые открытия подложки перевозчика технологий в 1995 году.