ОАК, ASML обнародует программных продуктов для увеличения производительности Литография

ОАК Tencor Корпорация И ASML совместно представил анализ программного обеспечения, что позволит автоматически чипов передачи данных наложения теста из 5000 серии ОАК в наложения метрологии и инструменты ASML PAS в 5500 шагового рядов и шаг

Программное обеспечение позволяет микросхем для выполнения регламентных работ о воздействии инструментов за считанные минуты, сказал компаний. Регулярно проводится калибровка и настройка инструмента воздействия литографии используется для быть сделано на литографии инструмента, что приводит к потере времени экспозиции компании сказал. С помощью данных Интерфейсы метрологии, испытаний наложения пластин, которые выставляются на инструмент ASML может быть измерена на метрологии инструмент наложения ОАК Tencor. После измерения завершены, интерфейсы используются для реимпорт исходных данных в шаговых или сканер, и преобразует инструмент воздействия и модели данных, чтобы определить ли Тион recalibra или настройки не требуются. Метрология данных Интерфейсы поддерживают все ASML PAS 5500 200mm я линии, глубоко ультрафиолетового и 193 нм и шаговые Шаг