Samsung Проверяет вафельных инспекционной KIATencor в инструмент

Компания Samsung Electronics Co LTD. Успешно завершила свою оценку с ОАК Tencor Корпорация '2350 ультрафиолетового (УФ) изображений с высоким разрешением пластин инспекции инструмент для использования в целях мониторинга производства передовых устройств DRAM. Samsung говорит, пластины инструмента помогли сократить цикл разработки компании на несколько месяцев.

Инструмент в настоящее время установлен в Samsung RS в фабрики, расположенные в Kiheung, Корея. УФ-2350 включает в ультрафиолетовом освещении широкополосной оптики, которая уменьшает шум, изменение цвета, в результате более высокой чувствительностью по сравнению с обычной оптики, в соответствии с Сан-Хосе основанные ОАК Tencor (NASDAQ Клак). Инструмент постоянно демонстрировала способность обнаруживать к югу от 0,10 микрон типов дефектов, в том числе один недостающий отверстий, контейнер и поли bndges, влажные отходы и металла стрингеры, сообщает компания. ОАК Десять соответствует сказал он забронированы более чем на $ 125 млн заказов на 2350 УФ с момента его введения в июле прошлого года.