ОЭЗ расширяет 300mm Спин-процессор Подготовка Инструмент Линия

Филлах, Австрия ОСНОВЕ инструментальщик ОЭЗ группа недавно представила три 300mm продуктов, которые являются дополнениями к существующей линии продуктов 300mm спин-процессора. Событие совпадает по времени с расширением компании ее производственные мощности в Европе для удовлетворения растущего спроса она переживает за его 200mm и 300 мм инструменты, сообщает компания. Кроме того Создаваемого Процессор 323,4300 и 8300 вытекает из "304300mm продукта ОЭЗ о том, что ОЭЗ выпущенных в прошлом году и который используется в нескольких 300mm фабрик. С помощью этих новых наборы инструментов, СЭЗ может предложить своим клиентам самый широкий спектр оборудования пластин поверхностно-300mm подготовки производства, сообщает компания. SpinProcessor 323 состоит из двух 4-уровня с помощью трех камер химии для односторонней обработки. 323 платформа работает с текущих приложений в ОЭЗ; обратной стороне, конические, краевые и передней стороне зоны отчуждения меди дезактивации, предварительной очистки PreClean для современных приложений литографии и передней стороне фильма удаления.

Спин-4300 Процессор имеет четыре уровня, три камеры и использует два химии для обработки лицевой стороны. Инструмент обеспечивает экономически эффективное пропускной способностью до площади и инвестиций к пропускной коэффициенты для различных процессах, в том числе полимерных удаления, разбавленный HF офорт, высоко селективного удаления азота и оксида нитрида неселективные удаления ОЭЗ сказал.

Спин-8300 Процессор имеет четыре уровня, три камеры процесса и процессов передней пластины и в обратной стороне одновременно. Он использует меньше химии, чем конкурирующие системы, в соответствии с ОЭЗ, и могут непосредственно равномерное покрытие пластин и улучшения конечных единообразия.

Это также устраняет переотложения и перекрестного загрязнения, поскольку химические вещества отделилась поверхности пластины и использовалась только в области исключение пластины, сказал ОЭЗ.